A three-layer and two-stage platform for positioning with nanometer resolution and submicrometer accuracy

Marta Torralba, José A. Yagüe-Fabra, José A. Albajez, Margarita Valenzuela, Raquel Acero, Juan J. Aguilar

Resultado de la investigación: Contribución a una conferenciaArtículo

1 Cita (Scopus)
Idioma originalInglés estadounidense
Páginas110-113
Número de páginas4
EstadoPublicada - 1 ene 2013
Publicado de forma externa
Evento11th IMEKO TC14 International Symposium on Measurement and Quality Control, ISMQC 2013 -
Duración: 1 ene 2013 → …

Conferencia

Conferencia11th IMEKO TC14 International Symposium on Measurement and Quality Control, ISMQC 2013
Período1/01/13 → …

Huella Profundice en los temas de investigación de 'A three-layer and two-stage platform for positioning with nanometer resolution and submicrometer accuracy'. En conjunto forman una huella única.

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    Torralba, M., Yagüe-Fabra, J. A., Albajez, J. A., Valenzuela, M., Acero, R., & Aguilar, J. J. (2013). A three-layer and two-stage platform for positioning with nanometer resolution and submicrometer accuracy. 110-113. Papel presentado en 11th IMEKO TC14 International Symposium on Measurement and Quality Control, ISMQC 2013, . https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=84907355122&origin=inward