A three-layer and two-stage platform for positioning with nanometer resolution and submicrometer accuracy

Marta Torralba, José A. Yagüe-Fabra, José A. Albajez, Margarita Valenzuela, Raquel Acero, Juan J. Aguilar

Resultado de la investigación: Contribución a una conferenciaArtículo

Idioma originalInglés estadounidense
Páginas132-135
Número de páginas4
EstadoPublicada - 1 ene 2014
Publicado de forma externa
Evento11th IMEKO TC14 Symposium on Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry, LMPMI 2014 -
Duración: 1 ene 2014 → …

Conferencia

Conferencia11th IMEKO TC14 Symposium on Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry, LMPMI 2014
Período1/01/14 → …

Huella Profundice en los temas de investigación de 'A three-layer and two-stage platform for positioning with nanometer resolution and submicrometer accuracy'. En conjunto forman una huella única.

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