A three-layer and two-stage platform for positioning with nanometer resolution and submicrometer accuracy

Marta Torralba, José A. Yagüe-Fabra, José A. Albajez, Margarita Valenzuela, Raquel Acero, Juan J. Aguilar

Resultado de la investigación: Contribución a una conferenciaArtículo

1 Cita (Scopus)

Huella Profundice en los temas de investigación de 'A three-layer and two-stage platform for positioning with nanometer resolution and submicrometer accuracy'. En conjunto forman una huella única.

Ingeniería y ciencia de los materiales