Deposition method-induced stress effect on ultrathin titanium nitride etch characteristics

M. M. Hussain, M. A. Quevedo-Lopez, H. N. Alshareef, D. Larison, K. Mathur, B. E. Gnade

Resultado de la investigación: Contribución a una revistaArtículorevisión exhaustiva

5 Citas (Scopus)

Huella Profundice en los temas de investigación de 'Deposition method-induced stress effect on ultrathin titanium nitride etch characteristics'. En conjunto forman una huella única.

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