Error budgeting as a tool for the design of a 2D moving platform with nanometer resolution

M. Torralba, M. Valenzuela, R. Acero, J. A. Yagüe-Fabra, J. A. Albajez, J. J. Aguilar, R. J. Hocken

Resultado de la investigación: Contribución a una conferenciaArtículo

3 Citas (Scopus)
Idioma originalInglés estadounidense
Páginas202-205
Número de páginas4
EstadoPublicada - 1 ene 2012
Publicado de forma externa
EventoProceedings of the 12th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2012 -
Duración: 1 ene 2012 → …

Conferencia

ConferenciaProceedings of the 12th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2012
Período1/01/12 → …

Huella Profundice en los temas de investigación de 'Error budgeting as a tool for the design of a 2D moving platform with nanometer resolution'. En conjunto forman una huella única.

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