High-k dielectric process development for enhanced electron mobility in high performance field effect transistors

P. D. Kirsch, J. Peterson, J. Gutt, S. Gopalan, S. Krishnan, H. J. Li, M. Quevedo-Lopez, M. Akbar, J. Barnett, N. Moumen, J. H. Sim, S. C. Song, P. Lysaght, C. Huffman, P. Majhi, M. Gardner, G. Brown, G. Bersuker, B. H. Lee

Resultado de la investigación: Contribución a una conferenciaArtículo

Idioma originalInglés estadounidense
Páginas84-93
Número de páginas10
EstadoPublicada - 1 dic 2005
Publicado de forma externa
EventoProceedings - Electrochemical Society -
Duración: 1 dic 2005 → …

Conferencia

ConferenciaProceedings - Electrochemical Society
Período1/12/05 → …

Huella Profundice en los temas de investigación de 'High-k dielectric process development for enhanced electron mobility in high performance field effect transistors'. En conjunto forman una huella única.

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