Low temperature hot filament chemical vapor deposition of Ultrananocrystalline Diamond films with tunable sheet resistance for electronic power devices

  • J. J. Alcantar-Peña
  • , J. Montes
  • , M. J. Arellano-Jimenez
  • , J. E.Ortega Aguilar
  • , D. Berman-Mendoza
  • , R. García
  • , M. J. Yacaman
  • , O. Auciello*
    • *Autor correspondiente de este trabajo

Producción científica: Contribución a una revista › Artículo › revisión exhaustiva

25 Citas (Scopus)

Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Low temperature hot filament chemical vapor deposition of Ultrananocrystalline Diamond films with tunable sheet resistance for electronic power devices'. En conjunto forman una huella única.

Keyphrases

Engineering

Material Science