Nanostructured fibers of A-SI<inf>3</inf>N<inf>4</inf>deposited by HYSY-CVD

E. B. Acosta-Enriquez, M. C. Acosta-Enriquez, R. Castillo-Ortega, M. A.E. Zayas, M. I. Pech-Canul

Resultado de la investigación: Contribución a una revistaArtículoInvestigaciónrevisión exhaustiva

1 Cita (Scopus)
Idioma originalInglés estadounidense
Páginas (desde-hasta)601-605
Número de páginas5
PublicaciónDigest Journal of Nanomaterials and Biostructures
EstadoPublicada - 1 abr 2016

Huella dactilar

Hybrid systems
Chemical vapor deposition
Deposits
deposits
vapor deposition
Atmospheric Pressure
fibers
Fibers
Physics
Silicon
Fourier Transform Infrared Spectroscopy
Silicon nitride
Silicon wafers
silicon nitrides
Atmospheric pressure
Hydrogen
vibration mode
atmospheric pressure
manufacturing
wafers

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Nanostructured fibers of A-SI<inf>3</inf>N<inf>4</inf>deposited by HYSY-CVD. / Acosta-Enriquez, E. B.; Acosta-Enriquez, M. C.; Castillo-Ortega, R.; Zayas, M. A.E.; Pech-Canul, M. I.

En: Digest Journal of Nanomaterials and Biostructures, 01.04.2016, p. 601-605.

Resultado de la investigación: Contribución a una revistaArtículoInvestigaciónrevisión exhaustiva

TY - JOUR

T1 - Nanostructured fibers of A-SI3N4deposited by HYSY-CVD

AU - Acosta-Enriquez, E. B.

AU - Acosta-Enriquez, M. C.

AU - Castillo-Ortega, R.

AU - Zayas, M. A.E.

AU - Pech-Canul, M. I.

PY - 2016/4/1

Y1 - 2016/4/1

M3 - Article

SP - 601

EP - 605

JO - Digest Journal of Nanomaterials and Biostructures

JF - Digest Journal of Nanomaterials and Biostructures

SN - 1842-3582

ER -